深紫外产业(duv光刻机使用寿命?)
1. duv光刻机使用寿命?
十年。
一台光刻机的寿命也不仅仅在于一两代芯片,如果用193nm深紫外光刻机也是可以做到10nm乃至7nm芯片的生产的,只是工艺难度实现起来相对复杂,成本较高,比如采用自对准四次成型技术,就可以得到更加致密的结构,不过因为芯片层级的工艺变得复杂,需要更多掩模版和材料,所以用193nm光刻机生产7nm芯片非常不划算,所以到了这个程度必须上EUV光刻机。
2. 空调uvc是什么意思?
深紫外(uvc)杀菌模块因为体积小、安全性高等特点,目前被各种除菌设备所使用,空调器中安装这种模块可以有效地杀灭室内空气中的各种细菌、真菌、病毒等微生物,提高室内空气质量,保护室内人体健康。
3. cymer公司怎么样?
Cymer公司是世界领先的准分子激光源提供商,发明了如今半导体制造中最关键的光蚀刻微影技术所需的深紫外光源。产品主要特性是:带宽窄,运行速度高,可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。
在1960年代,芯片制造商使用可见光做为照射光源。到了1990年代,芯片制造商则开始使用热汞气(hot mercury gas)所产生较短波长的不可见紫外线做为照射光源,这种光源波长可使芯片的电路线宽缩小到0.35微米。接着芯片制造商还希望能由紫外线再改进至具有更短波长的X射线(X-ray),但X-ray的成本仍然太高,而且很难被使用在芯片制造上。另一种可能做为芯片摄影平板技术(photolithography)的新光源是只有0.25微米波长的excimer雷射光。1997年,这项新雷射光源模块(laser module)被一家叫Cymer Inc.的新厂商正式开发出来,并被运用在芯片制程的成影设备Stepper上 。
回到1985年,Robert Akins与Richard Sandstrom两位来自加州大学圣地亚哥分校(UCSD)的博士,正思索着他们的未来。由于Akins的博士论文是研究有关雷射光学信息处理(optical information processing),而Sandstrom则是有关雷射物理,他们过去都曾任职于一家国防工业公司(HLX Inc.),从事一些运用雷射科技的国防机密项目 (esoteric projects);例如:运用雷射感应熔解核能,卫星至潜水艇的雷射光通讯等。
有一天,他们在圣地亚哥进教的Del Mar海滩上休闲,掷飞盘与喝啤酒,讨论未来的前程发展。他们激发极多的创业构想,包括从事快餐经销商的可能性,不过最后决定创业还是应该奠定于自身的专长能力。于是在1986年,他们俩成立了一家名叫Cymer Inc.的公司,专门从事excimer 雷射光技术的研究开发。
Excimer lasers可经由混合两种氧体-氮(krypton)及氟(fluorine)来制造雷射光。将气体注入2呎长的铝管中,并在管子两端施以12000伏特高压,这个电压将以每秒750亿次的方式对气体进行放电,引起氪和氟原子的暂时性结合,所形成的氪氟分子被称为excited dimmer (已激发的二分子聚合物,因此简称为excimer)。但是当电压拿掉时,这个不稳定分子就会解裂,同时间它将释放出一道0.25微米波长深紫外线雷射光(deep-ultraviolet last light)。
1986年,Akins及Sandstrom开始在大学实验室中建立excimer雷射的原型。由于创业初期主要是借用加州大学的研究设备,他们还积欠学校大约$250,000元的债务。同时间,Cymer Inc.也设法自美国国防部争取委托研究资金,以维持公司的营运。在研究过程中他们遭遇许多技术瓶颈,例如,以12000伏特高压放电将会产生每秒上千次的剧烈震动,这时如何使雷射光源能长期稳定的激发,就会是一大技术难题。为了使Cymer公司能够继续运作,Akins及Sandstrom甚至将他们的房屋抵押,以筹措初期的研发资金。
1988年,Cymer Inc.接到由风险投资家Richard Abraham所提供的第一笔外部资金。Abraham曾在Fairchild半导体、Motorola,以及德州仪器等公司担任研究发工作与高阶经理人,因此他能了解深紫外线雷射光源对于未来IC产业制程创新的重要性。Abraham提出的投资条件是:“Cymer公司必须完全专注在excimer雷射光源在半导体制程设备上的应用开发”。接着,当Canon及Nikon等IC设备制造商的科学家及经理人到Cymer进行参访后,也决定加入投资Cymer的行列。原因是Canon及Nikon所生产的IC芯片成影设备”steppers”,需要使用先进的光源模块,而excimer雷射光源将会是一种重大创新,因此他们购买Cymer公司6%的股权。
1995年,由于IC产品对于芯片密度需求的提升,制程设备厂商开始纷纷转换使用0.25微米波长的excimer雷射光做为成影的光源。因此Cymer推出每套价值45万元的eximer雷射模式,成为炙手可热的产品。 Cymer Inc.的营业额也由1995年的1800万美元,迅速成长至1996年的6500万美元。1996年9月,Cymer的股票以每股9.5元公开上市,到了12月底,股价已上涨至42元。在两次公开发行活动中,Cymer Inc.顺利自市场上筹集到8000万的资金。
1997年2月,Cymer的股价已达到50元,而Akins持有2%的股权,价值高达200万美元。显然,他不会再需要考虑去卖汉堡了。
4. uvc空调有用吗?
uvc空调杀菌是有用、可靠的。
uvc杀菌是现阶段家电业应用的新起杀菌技术性,它可消灭病菌、病毒感染、黄曲霉菌、单细胞等微生物。其原理是利用uvc深紫外线直射单细胞微生物,毁坏其有机体中的DNA及RNA的构造,使其缺失繁育能力将其消灭。
5. 深紫外纳秒激光器的前景怎样?
深紫外纳秒激光器的前景很不错。
纳秒紫外激光器是指脉冲持续时间一般介于几十到几百纳秒的范围内,输出波长为紫外线的脉冲激光器,凭借热效应小、可控性好等优点,被广泛应用于工业领域。
目前我国纳秒紫外激光器市场供应趋于稳定,市场需求依旧强劲,国产化替代加速,行业整体呈良好态势发展,行业市场规模也不断扩大,截至2019年已达13.43亿元,同比增长4.4%。
6. DUV光刻机是什么?
DUV光刻机是一种用于制造微纳米结构的设备,它使用激光技术来将设计图案刻录到芯片表面,从而实现芯片的微细加工。
它通常使用深紫外线(DUV)激光,具有更精细的刻蚀分辨率,可以制造出更小的结构,比如芯片上的微型电路元件。